低温泵是利用低温表面冷凝气体的原理制作的真空泵。低温泵是获得清洁真空的压力更低、抽气速率更大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

　　一般提到的低温泵的使用介质温度稍微高点的在零下30摄氏度，更低的在零下220摄氏度，在设计师要考虑到材料的低温性能，抗冲击性(主要是Ak值)，介质的理化性能，尤其像液氧液氮液氩液化天然气这些介质的挥发性。

　　根据这些性能考虑密封结构。该泵一般采用的是填料密封。密封造价比较低廉。低温泵是在石油、化工装置中用来输送液态烃、液化天然气以及冷冻装置中的液态氧、液态氮等液化气的特殊泵，因此它又称深冷系。

　　总体结构特点

　　立式结构：适于埋装在地下，不会受电动机热风、空气温度和日照等影响，易于保冷;能降低泵的吸上高度，增加灌注头，提高有效汽蚀余量;立式结构还有利于排气，使悬挂轴有足够高度便于布置轴封装置，故该泵也称为立式筒型泵。

　　对称结构：泵的总体结构力求对称布置，以便在冷态下能均匀变形。

　　双层壳体：为了保冷方便和有利于输送危险介质，通常都制成双层壳体，内壳里面承受泵压，内外壳之间是吸入压力，这样可适当降低内壳的强度要求。

　　低温泵的类型

　　A.活塞式、柱塞式

　　这类泵一般用在气体的充装，化工流程里(比如往化学反应釜里加入高压氮气、二氧化氮、二氧化碳等)，冶金工程(钢厂的炼钢炉内输气，作为输送泵用，流量一般没离心式的大，但是可以有效提供输气压力)

　　B.离心式

　　离心式的低温液体泵一般用在从一个低温液体容器把液体输送到另外一个容器中，或作为空分中的流程泵进行使用(大流量的)，这种泵一般密封采用的是机械密封或迷宫密封等形式，密封造价比较高。

　　低温泵轴封

　　填料轴封：不同于一般的普通型式，采用双层填料密封，在两层之间设有一层密封腔，从外界通入一种气体(如氮气)，起密封作用。

　　机械密封：机械密封也不同于普通型式，采用双端面机械密封，在密封室和泵体之间设有缓冲室，可起隔冷作用，同时使密封液压力能适应排液压力的变化，为此，一般都配备了衡压器，隔冷槽等附属设备。

　　轴承：上轴承接近大气温度，一般采用推力滚珠轴承;下轴承为滑动轴承，浸没在工作介质中运转，并用工作介质进行润滑;为了防止由摩擦发热而引起液体汽化，以致破坏润滑，必须使用润滑性好的材料，如四氟乙烯、石墨、耐蚀镍合金等;与滑动轴承对磨的轴颈进行表面氮化处理或堆焊硬质合金。

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